주성엔지니어링, 3분기 영업익 5배로…차세대 장비 성장 주목

[아이뉴스24 권서아 기자] 반도체 장비업체 주성엔지니어링이 올해 3분기 영업이익을 지난해보다 5배 이상 늘리며 수익성을 끌어올렸다. 기존 반도체 장비 수요 회복에 이어 차세대 원자층성장(ALG)과 태양광 장비 사업이 추가 성장동력이 될지 주목된다.

주성엔지니어링은 4일 연결 기준 3분기 매출 781억원, 영업이익 177억원을 기록했다고 공시했다. 지난해 같은 기간보다 각각 32.8%, 426.4% 증가했다. 당기순이익은 280억원으로 267.4% 늘었다.

전분기 대비 매출은 30.4% 증가했고 영업이익은 14억원에서 177억원으로 뛰었다. 영업이익률도 2.4%에서 22.6%로 개선됐다. 다만 1~3분기 누적 영업이익은 121억원으로 전년 동기 대비 72.5% 감소했다.

증권가에서는 주요 메모리 업체들의 설비투자 확대에 주목하고 있다. 주성엔지니어링은 반도체 원판(웨이퍼)에 원자 단위의 얇은 막을 형성하는 원자층증착(ALD) 장비를 주력으로 공급하고 있다.

정우성 LS증권 연구원은 지난 8월 보고서에서 SK하이닉스 청주 M15X의 첨단 D램 투자와 중국 창신메모리(CXMT)의 생산능력 확대를 성장 요인으로 꼽았다. CXMT는 중국 최대이자 세계 4위권 D램 업체다.

특히 반도체 회로가 미세해질수록 D램에 전하를 저장하는 캐패시터의 성능을 유지하는 기술이 중요해진다.

LS증권은 이에 필요한 고유전율(High-k) ALD 장비 투자가 확대될 것으로 전망했다. BNK투자증권도 CXMT 신규 공장 투자와 SK하이닉스의 장비 발주를 긍정적으로 평가했다.

주성엔지니어링은 기존 ALD를 넘어 ALG 장비도 개발하고 있다. 지난 5월에는 차세대 트랜지스터 제조용 통합 ALG 장비를 글로벌 반도체 기업에 처음 출하했다.

두 기술의 차이는 박막을 만드는 방식이다. 황철주 주성엔지니어링 회장은 ALD를 눈이 층층이 쌓이는 방식, ALG를 얼음처럼 결정이 단단하게 자라는 방식에 비유한 바 있다.

ALG는 원자 단위의 미세 결정을 성장시켜 복잡한 입체 구조에서도 균일하고 치밀한 박막을 형성하는 기술이다.

주성엔지니어링은 이를 활용해 기존 실리콘 반도체의 한계를 보완할 화합물 반도체 장비도 개발하고 있다.

대표적인 것이 주기율표상 3족과 5족 원소를 결합한 '3·5족 화합물'이다. 갈륨비소(GaAs)와 인듐인(InP) 등이 해당하며, 전자 이동 속도가 빨라 고성능 반도체 소재로 주목받고 있다.

주성엔지니어링은 이러한 화합물 박막을 400도 이하에서 성장시키는 기술을 확보했다고 밝혔다. 이를 태양광과 디스플레이 분야에도 적용할 계획이며, 태양광용 ALG 기반 3·5족 기술은 연내 상용화를 목표로 제시했다.

태양광 장비 사업에 대한 증권가의 기대도 있다. 미래에셋증권은 지난 5월 보고서에서 미국 태양광 생산시설 투자가 늘어날 경우 주성엔지니어링이 중국 장비업체의 대안으로 부상할 가능성을 제시했다. 고효율 HJT와 차세대 탠덤 태양전지 장비를 중장기 성장 분야로 꼽았다.